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第四章 铈火燎原

晨光透过车间的防辐射滤膜,在193nm准分子激光器的外壳上投下栅格状阴影。程弈摘下沾满氧化铈粉末的防护手套,指尖在ASML提供的技术手册某页反复摩挲——那是荷兰人设置的专利陷阱,标注着镜片热膨胀系数的死亡红线。

"第七块镜片烧毁。"陆星野将熔毁的DMD微镜阵列摔在检测台上,钛合金撞击声让角落里的年轻技师浑身一颤,"每次接近28nm节点,热变形量就突破ASML标称值的150%!"

朱雀嚼着口香糖斜靠在物料架上,军靴鞋跟有节奏地敲打盛放铈粉的铅罐:"你们中科院的老学究只会按洋人剧本走?"她突然将激光笔戳向墙角的监控摄像头,红光在镜头上灼出焦痕,"看看这个——"

全息屏弹出三十年前的实验录像:陆明远在同样位置调试光刻胶,身后货架上赫然摆放着包钢集团的氧化铈样品。

"X-7配方的重金属超标结论是伪造的!"程弈的镊子夹起泛黄的检测报告,纸页边缘的飞利浦公司logo刺入视线。陆星野突然扯开防护服领口,露出锁骨处的手术疤痕——那是他三年前在ASML荷兰总部培训时植入的追踪芯片。

朱雀将铈粉倒入丙二醇甲醚的瞬间,淡蓝色烟雾在通风橱内形成龙卷风般的漩涡:"专利法可没规定不能用稀土抵消热形变。"她的搅拌棒突然停滞,胶体表面浮现出清晰的28nm线宽干涉条纹,"1987年陆院士就发现,氧化铈的Kα射线能修正光学像差!"

"但商务部刚刚把铈列入禁运清单!"质检主任王岚冲进车间,高跟鞋在防静电地板上打滑。她手中的平板电脑闪烁着海关扣押通知,某艘载着三百吨氧化铈的货轮正滞留马六甲海峡。

程弈的视网膜投影突然报警,激光器的冷却管道传来爆裂声。液氮泄漏的白雾中,他看见陆明远在录像里对他做口型:"淬火……"

"镜片温度突破安全阈值!"操作员小李的声线带着哭腔。十二枚熔石英透镜在红光中扭曲如融化的琥珀,ASML的远程锁死程序正在生效。

朱雀一脚踹开电控柜,华为海思的国产芯片替换了赛灵思FPGA模块。"接着!"她将液氮喷枪抛给陆星野,"往镜组接缝处喷射,让低温收缩抵消热膨胀!"

"你疯了?"王岚抓住朱雀的防护服,"这种野路子会毁了整台机器!"

"1992年专家组也是这么说陆院士的!"朱雀甩开她的手,氧化铈粉尘在气流中形成闪烁的星云。程弈突然按住陆星野颤抖的手腕:"你父亲在X-7配方里留了温度补偿方程——"

全息屏投射出泛黄的手稿:

ΔR=α·CeO₂+β·T

液氮白雾笼罩镜组的瞬间,电子显微镜传回图像——28nm线宽的集成电路清晰如刀刻,边缘粗糙度比ASML标准还低0.3nm。

......

正午阳光被铈粉染成淡蓝色,车间仿佛沉入深海。程弈倚着震动的激光器外壳,看着朱雀在安全规程上涂鸦:"ASML的专利牢笼困不住铈原子。"

"但海关扣着我们的氧化铈!"王岚将平板电脑摔在控制台上,某位华尔街掮客的邮件正在炫耀扣押令。陆星野突然撕开左臂绷带,手术疤痕下的追踪芯片闪烁着诡异蓝光:"用这个定位信号反向植入病毒——"

"不行!"程弈抓住他的手臂,"芯片连着你的臂丛神经!"

朱雀的激光笔突然灼穿陆星野的皮肤,芯片在焦糊味中弹跳而出。"中科院该雇点女护士了。"她将芯片插入光刻机控制系统,"疼痛阈值测试——通过。"

ASML的远程锁死程序开始倒计时自毁,车间警报声与三十年前录像里的实验警报完美重叠。

"温度补偿层开始剥离!"小李的尖叫中,镜组接缝处迸射火花。朱雀将整罐氧化铈泼向激光器,粉尘在电离辐射下形成发光的蜂群矩阵。

"启动B计划!"程弈扯断美商设备的控制线缆,华为的鸿蒙系统接管全车间。陆星野跪在父亲遗留的实验台前,用手术刀在桌面刻下新的补偿方程:

ΔR'=γ·CeO₂²

铈粉在激光束中熔融成动态补偿膜,ASML镜片的专利陷阱在稀土原子的量子跃迁中土崩瓦解。王岚突然发现海关扣押令的电子签名存在漏洞——"他们拼错了铈的化学符号Ce!"

夕阳将氧化铈粉尘染成血红色,程弈凝视着成功下线的晶圆。朱雀用激光笔在天花板刻下华尔街掮客的姓名,每个字母都穿透三层防辐射混凝土。

"陆院士的遗产不止在公式里。"陆星野举起父亲遗留的铈粉罐,底部蚀刻着1992年专家组会议日期——正是ASML前身飞利浦光学介入的时间节点。

程弈的手机震动,商务部更新了禁运清单——氧化铈被移出管制目录。王岚突然指着监控屏幕尖叫:滞留货轮的船长正在甲板上倾倒铈粉,马六甲海峡泛起诡异的蓝光。

"该让世界见识真正的中国铈了。"朱雀嚼碎口香糖,薄荷味混着氧化铈的金属气息在车间弥漫。程弈的视网膜倒映着晶圆上的电路图案,那不仅是28nm制程的突破,更是一把烧穿技术铁幕的铈火。

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